Ce projet a pour but de réaliser un micro-générateur thermoélectrique oxyde intégré sur une membrane flexible de silicium poreux (Sipo) biocompatible. La puissance électrique générée au contact de la peau permettra la recharge d'une micro-batterie et l'alimentation d'un cap- teur autonome monitorant par exemple une fonction vitale. Les films oxydes envisagés ici sont une alternative aux tellurures de bismuth, matériaux thermoélectriques les plus performants mais toxiques et peu abondants. Cependant leur température de cristallisation supérieure à 500°C les rend incompatibles avec les membranes polymères utilisées pour les composants électroniques sur support flexible. L'approche technologique bas-coût utilisée ici dérive de celle tout récemment développée pour le report de cellules photovoltaïques et permet la réalisation complète du composant sur wafer Si avant la séparation de la membrane Sipo. Elle autorise l'intégration sur membrane flexible de TOUS les composants micro-électroniques "haute température", ouvrant des domaines d'applications (électronique flexible comme les cartes à puce, les textiles intelligents, la récupération d'énergie ...) largement inexploités commercialement. Pour réaliser ce projet, le GREMAN s'appuiera sur ses compétences en synthèse combinatoire d'oxydes thermoélectriques et en micro-fabrication. L'ICMN apporte son expertise en analyse de surface. La start-up Silimixt possède le savoir-faire pour la réalisation des membranes SiPo. Le LIED interviendra pour l'optimisation du design. Enfin STMicroelectronics développe des micro-batteries Li à associer à des micro-générateurs.
Publication scientifique : 15
Suivi de projet - Pendant le projet : 10
Emplois crées : 10
Action de communication : 50
Produit / Prototype : 20
Rapport final : 5
Thèse : 5
Porteur du projet
Partenaire(s) adhérents
Partenaire(s) non adhérents
SILIMIXT
LABORATOIRE LIED
Début du projet le 14 / 02 / 2017 | Fin du projet le 14 / 11 / 2021
Domaines d'activité stratégiques
Bâtiments intelligents
Matériaux et composants pour l'électronique
Référent du projet
Florentin BORÉ
06 66 39 55 43
florentin.bore-ext@st.com
Centre-Val de Loire
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