Ce projet de recherche vise à étudier la fiabilité de procédés de fabrication de plaquettes en silicium poreux sous la responsabilité universitaire du laboratoire GREMAN (ex LMP EA 3246), en partenariat avec l'entreprise LCS (37) et une future entreprise de fabrication de plaquettes de silicium poreux : SILIMIXT. Malgré l'intérêt fonctionnel du silicium poreux, sa disponibilité industrielle n'est pas assurée, car il n'existe toujours pas de moyen de production à l'échelle industrielle. La raison tient en l'absence d'informations et d'assurance sur la reproductibilité des procédés de fabrication, elle-même liée à l'absence d'équipements de production. Le GREMAN via le CERTeM, a anticipé ce verrou technologique en se dotant d'un nouvel équipement de recherche pour l'étude de la porosification de plusieurs plaquettes en parallèle. Le GREMAN se positionne ainsi comme le premier laboratoire à travailler sur la fiabilité des procédés de porosification du silicium. La création en région Centre de l'entreprise SILIMIXT constituera la seconde originalité de ce projet de recherche. LCS apportera quant à lui son savoir faire en matière de fabrication d'équipements.
Emplois crées : 1
Brevet : 8
Publication scientifique : 20
Emplois crées : 7
Nouveau projet : 4
Produit / Prototype : 12
Rapport final : 4
Début du projet le 07 / 12 / 2012 | Fin du projet le 07 / 12 / 2015
Domaines d'activité stratégiques
Matériaux et composants pour l'électronique
Référent du projet
07 86 53 38 74
sebastien.desplobain-s2e2-ext@st.com
Centre-Val de Loire
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