CARTOCOMBI

Achevé

Les matériaux oxydes déposés en couches minces sont promis à un bel avenir applicatif, des domaines traditionnels de la micro-électronique et de l'optique aux secteurs émergeants de la photonique, de l'énergie ou des métamatériaux, avec des applications dans le bâtiment intelligent comme l'a validé le programme SéSAME/CAPI financé pour moitié par le ministère de l'industrie. Le nombre de combinaisons d'atomes étant très élevé, autant l'élaboration que la caractérisation doivent faire appel à des techniques rapides de type combinatoire. Le Dépôt par Jet Chimique utilisée par la société 3D-Oxides, étant une technique de dépôt combinatoire, doit nécessairement être associée à une méthode rapide d'analyse. Spécialité du LEMA, la spectroscopie optique est une méthode d'investigation répondant à ces exigences puisqu'elle est rapide, non destructive et fortement sensible à l'épaisseur et à la composition chimique. La société 3D-Oxides prévoit la création d'une succursale à Tours pour valoriser ce partenariat. L'objectif de ce projet est de développer un équipement permettant la cartographie rapide des propriétés physiques de couches oxydes par spectroscopie optique d'un ensemble de compositions différentes, synthétisées et déposées sur un même substrat, par les réacteurs 3D-Oxides. Différents types de spectroscopies optiques résolues spatialement, pourront être réalisées successivement au sein du même équipement, de l'infrarouge lointain à l'ultraviolet : thermographie, réflexion (en incidence normale, sous angle rasant et en réflexion totale atténuée) et transmission.

Retombées du projet

Emplois crées : 2

Rapport final : 2

Personnes engagées sur le projet

Porteur du projet

Partenaire(s) non adhérents

3D-OXIDES

Informations sur le projet

Début du projet le 01 / 09 / 2012 | Fin du projet le 03 / 12 / 2014


Domaines d'activité stratégiques

Réseaux électriques intelligents

Matériaux et composants pour l'électronique


Référent du projet

Nicolas POUSSET
Responsable Technique

07 86 53 38 70

nicolas.pousset-s2e2-ext@st.com

Centre val de loire

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